BS-4020A டிரினோகுலர் இண்டஸ்ட்ரியல் வேஃபர் இன்ஸ்பெக்ஷன் மைக்ரோஸ்கோப்
அறிமுகம்
BS-4020A தொழில்துறை ஆய்வு நுண்ணோக்கி பல்வேறு அளவு செதில்கள் மற்றும் பெரிய PCB இன் ஆய்வுகளுக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.இந்த நுண்ணோக்கி நம்பகமான, வசதியான மற்றும் துல்லியமான கண்காணிப்பு அனுபவத்தை வழங்க முடியும்.கச்சிதமாகச் செயல்படும் கட்டமைப்பு, உயர்-வரையறை ஆப்டிகல் சிஸ்டம் மற்றும் பணிச்சூழலியல் இயக்க முறைமையுடன், BS-4020 தொழில்முறை பகுப்பாய்வை உணர்ந்து, செதில்கள், FPD, சர்க்யூட் பேக்கேஜ், PCB, மெட்டீரியல் சயின்ஸ், துல்லிய வார்ப்பு, மெட்டாலோசெராமிக்ஸ், துல்லியமான அச்சு, ஆராய்ச்சி மற்றும் ஆய்வு ஆகியவற்றின் பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது. குறைக்கடத்தி மற்றும் மின்னணுவியல் போன்றவை.
1. சரியான நுண்ணிய வெளிச்ச அமைப்பு.
நுண்ணோக்கி கோஹ்லர் வெளிச்சத்துடன் வருகிறது, பார்க்கும் புலம் முழுவதும் பிரகாசமான மற்றும் சீரான வெளிச்சத்தை வழங்குகிறது.இன்ஃபினிட்டி ஆப்டிகல் சிஸ்டம் NIS45 உடன் ஒருங்கிணைக்கப்பட்டு, உயர் NA மற்றும் LWD குறிக்கோள், சரியான நுண்ணிய இமேஜிங் வழங்கப்படலாம்.
அம்சங்கள்
பிரதிபலித்த வெளிச்சத்தின் பிரகாசமான புலம்
BS-4020A ஒரு சிறந்த முடிவிலி ஒளியியல் அமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது.பார்க்கும் புலம் சீரானது, பிரகாசமானது மற்றும் அதிக வண்ண இனப்பெருக்கம் பட்டம் கொண்டது.ஒளிபுகா குறைக்கடத்திகளின் மாதிரிகளைக் கவனிப்பது பொருத்தமானது.
இருண்ட வயல்
இது இருண்ட புல கண்காணிப்பில் உயர்-வரையறை படங்களை உணர முடியும் மற்றும் நுண்ணிய கீறல்கள் போன்ற குறைபாடுகளுக்கு அதிக உணர்திறன் பரிசோதனையை மேற்கொள்ளலாம்.அதிக தேவைகள் உள்ள மாதிரிகளின் மேற்பரப்பு ஆய்வுக்கு இது ஏற்றது.
கடத்தப்பட்ட வெளிச்சத்தின் பிரகாசமான புலம்
FPD மற்றும் ஒளியியல் கூறுகள் போன்ற வெளிப்படையான மாதிரிகளுக்கு, கடத்தப்பட்ட ஒளியின் மின்தேக்கி மூலம் பிரகாசமான புல கண்காணிப்பை உணர முடியும்.இது DIC, எளிய துருவப்படுத்தல் மற்றும் பிற பாகங்கள் ஆகியவற்றிலும் பயன்படுத்தப்படலாம்.
எளிய துருவப்படுத்தல்
உலோகவியல் திசுக்கள், தாதுக்கள், எல்சிடி மற்றும் குறைக்கடத்தி பொருட்கள் போன்ற இருவேறு மாதிரிகளுக்கு இந்த கண்காணிப்பு முறை பொருத்தமானது.
பிரதிபலித்த வெளிச்சம் DIC
துல்லியமான அச்சுகளில் சிறிய வேறுபாடுகளைக் கவனிக்க இந்த முறை பயன்படுத்தப்படுகிறது.புடைப்பு மற்றும் முப்பரிமாண படங்களின் வடிவத்தில் சாதாரண கண்காணிப்பு வழியில் காண முடியாத சிறிய உயர வித்தியாசத்தை கண்காணிப்பு நுட்பம் காட்ட முடியும்.
2. உயர்தர அரை ஏபிஓ மற்றும் ஏபிஓ பிரைட் ஃபீல்ட் & டார்க் ஃபீல்ட் நோக்கங்கள்.
மல்டிலேயர் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், NIS45 தொடர் அரை-ஏபிஓ மற்றும் ஏபிஓ அப்ஜெக்டிவ் லென்ஸ்கள் கோள மாறுபாடு மற்றும் புற ஊதா முதல் அகச்சிவப்புக்கு அருகில் உள்ள நிறமாற்றம் ஆகியவற்றை ஈடுசெய்யும்.படங்களின் கூர்மை, தெளிவுத்திறன் மற்றும் வண்ண விளக்கக்காட்சிக்கு உத்தரவாதம் அளிக்க முடியும்.பல்வேறு உருப்பெருக்கங்களுக்கான உயர் தெளிவுத்திறன் மற்றும் தட்டையான படத்தைப் பெறலாம்.
3. ஆப்பரேட்டிங் பேனல் நுண்ணோக்கியின் முன்பக்கத்தில், செயல்பட வசதியாக உள்ளது.
பொறிமுறை கட்டுப்பாட்டு குழு நுண்ணோக்கியின் முன்புறத்தில் (ஆபரேட்டருக்கு அருகில்) அமைந்துள்ளது, இது மாதிரியை கவனிக்கும்போது செயல்பாட்டை விரைவாகவும் வசதியாகவும் செய்கிறது.மேலும் இது நீண்ட நேரம் கவனிப்பதாலும், பெரிய அளவிலான இயக்கத்தால் ஏற்படும் மிதக்கும் தூசிகளாலும் ஏற்படும் சோர்வைக் குறைக்கும்.
4. எர்கோ டிரினோகுலர் பார்க்கும் தலை.
எர்கோ டில்டிங் பார்க்கும் தலையானது, நீண்ட நேரம் வேலை செய்வதால் ஏற்படும் தசை பதற்றம் மற்றும் அசௌகரியத்தை குறைக்க, கண்காணிப்பை மிகவும் வசதியாக மாற்றும்.
5. ஃபோகசிங் மெக்கானிசம் மற்றும் குறைந்த கை நிலை கொண்ட மேடையின் நேர்த்தியான சரிசெய்தல் கைப்பிடி.
ஃபோகசிங் மெக்கானிசம் மற்றும் ஸ்டேஜின் ஃபைன் அட்ஜஸ்ட்மெண்ட் ஹேண்டில் குறைந்த கை நிலை வடிவமைப்பை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது பணிச்சூழலியல் வடிவமைப்பிற்கு இணங்குகிறது.செயல்படும் போது பயனர்கள் கைகளை உயர்த்த வேண்டிய அவசியமில்லை, இது மிகவும் வசதியான உணர்வை அளிக்கிறது.
6. மேடையில் உள்ளமைக்கப்பட்ட கிளட்ச்சிங் கைப்பிடி உள்ளது.
கிளட்ச்சிங் கைப்பிடி மேடையின் வேகமான மற்றும் மெதுவான இயக்க முறைமையை உணர முடியும் மற்றும் பெரிய பகுதி மாதிரிகளை விரைவாகக் கண்டறிய முடியும்.மேடையின் நேர்த்தியான சரிசெய்தல் கைப்பிடியுடன் இணைந்து பயன்படுத்தும் போது, மாதிரிகளை விரைவாகவும் துல்லியமாகவும் கண்டறிவது இனி கடினமாக இருக்காது.
7. பெரிதாக்கப்பட்ட நிலை (14”x 12”) பெரிய செதில்கள் மற்றும் PCBக்கு பயன்படுத்தப்படலாம்.
மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் செமிகண்டக்டர் மாதிரிகளின் பகுதிகள், குறிப்பாக செதில், பெரியதாக இருக்கும், எனவே சாதாரண உலோகவியல் நுண்ணோக்கி நிலை அவற்றின் கண்காணிப்பு தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியாது.BS-4020A ஒரு பெரிய இயக்க வரம்பைக் கொண்ட ஒரு பெரிய கட்டத்தைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது வசதியானது மற்றும் நகர்த்த எளிதானது.எனவே இது பெரிய பகுதி தொழில்துறை மாதிரிகளை நுண்ணிய கண்காணிப்புக்கு ஒரு சிறந்த கருவியாகும்.
8. 12” செதில்கள் வைத்திருப்பவர் நுண்ணோக்கியுடன் வருகிறது.
12” செதில் மற்றும் சிறிய அளவிலான செதில்களை இந்த நுண்ணோக்கி மூலம் கவனிக்க முடியும், வேகமான மற்றும் சிறந்த இயக்க நிலை கைப்பிடியுடன், இது வேலை திறனை பெரிதும் மேம்படுத்தும்.
9. ஆன்டி-ஸ்டாடிக் பாதுகாப்பு கவர் தூசியை குறைக்கும்.
தொழில்துறை மாதிரிகள் மிதக்கும் தூசியிலிருந்து வெகு தொலைவில் இருக்க வேண்டும், மேலும் சிறிது தூசி தயாரிப்பு தரம் மற்றும் சோதனை முடிவுகளை பாதிக்கும்.BS-4020A ஆனது நிலையான எதிர்ப்பு பாதுகாப்பு உறையின் ஒரு பெரிய பகுதியைக் கொண்டுள்ளது, இது மிதக்கும் தூசி மற்றும் தூசி விழுவதைத் தடுக்கிறது, இதனால் மாதிரிகளைப் பாதுகாக்கவும், சோதனை முடிவை மிகவும் துல்லியமாகவும் மாற்றும்.
10. நீண்ட வேலை தூரம் மற்றும் அதிக NA நோக்கம்.
சர்க்யூட் போர்டு மாதிரிகளில் உள்ள எலக்ட்ரானிக் கூறுகள் மற்றும் குறைக்கடத்திகள் உயரத்தில் வித்தியாசத்தைக் கொண்டுள்ளன.எனவே, இந்த நுண்ணோக்கியில் நீண்ட வேலை தூர நோக்கங்கள் ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்டுள்ளன.இதற்கிடையில், வண்ண இனப்பெருக்கம் தொடர்பான தொழில்துறை மாதிரிகளின் உயர் தேவைகளை பூர்த்தி செய்வதற்காக, பல அடுக்கு பூச்சு தொழில்நுட்பம் பல ஆண்டுகளாக மேம்படுத்தப்பட்டு மேம்படுத்தப்பட்டுள்ளது மற்றும் உயர் NA உடன் BF&DF அரை-ஏபிஓ மற்றும் APO நோக்கம் ஏற்றுக்கொள்ளப்பட்டது, இது மாதிரிகளின் உண்மையான நிறத்தை மீட்டெடுக்க முடியும். .
11. பல்வேறு கண்காணிப்பு முறைகள் பல்வேறு சோதனை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
| வெளிச்சம் | பிரகாசமான களம் | இருண்ட புலம் | DIC | மணல் விளக்கு | துருவப்படுத்தப்பட்ட ஒளி |
| பிரதிபலித்த வெளிச்சம் | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| கடத்தப்பட்ட வெளிச்சம் | ○ | - | - | - | ○ |
விண்ணப்பம்
BS-4020A தொழில்துறை ஆய்வு நுண்ணோக்கி பல்வேறு அளவு செதில்கள் மற்றும் பெரிய PCB இன் ஆய்வுகளுக்கு ஒரு சிறந்த கருவியாகும்.இந்த நுண்ணோக்கியை பல்கலைக்கழகங்கள், எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் சிப்ஸ் தொழிற்சாலைகளில் செதில்கள், எஃப்பிடி, சர்க்யூட் பேக்கேஜ், பிசிபி, மெட்டீரியல் சயின்ஸ், துல்லிய வார்ப்பு, மெட்டாலோசெராமிக்ஸ், துல்லியமான மோல்ட், செமிகண்டக்டர் மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் போன்றவற்றின் ஆராய்ச்சி மற்றும் ஆய்வுக்காகப் பயன்படுத்தலாம்.
விவரக்குறிப்பு
| பொருள் | விவரக்குறிப்பு | BS-4020A | BS-4020B | |
| ஆப்டிகல் சிஸ்டம் | NIS45 இன்ஃபினைட் கலர் கரெக்டட் ஆப்டிகல் சிஸ்டம் (குழாய் நீளம்: 200மிமீ) | ● | ● | |
| பார்க்கும் தலை | எர்கோ டில்டிங் டிரினோகுலர் ஹெட், அனுசரிப்பு 0-35° சாய்வு, இடைக்கணிப்பு தூரம் 47மிமீ-78மிமீ;பிளவு விகிதம் கண் துணுக்கு: டிரினோகுலர்=100:0 அல்லது 20:80 அல்லது 0:100 | ● | ● | |
| Seidentopf டிரினோகுலர் ஹெட், 30° சாய்ந்த, இடையிடையே உள்ள தூரம்: 47mm-78mm;பிளவு விகிதம் கண் துணுக்கு: டிரினோகுலர்=100:0 அல்லது 20:80 அல்லது 0:100 | ○ | ○ | ||
| Seidentopf பைனாகுலர் ஹெட், 30° சாய்வானது, இடைப்பட்ட தூரம்: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| கண்மணி | சூப்பர் வைட் ஃபீல்ட் பிளான் ஐபீஸ் SW10X/25mm, diopter அனுசரிப்பு | ● | ● | |
| சூப்பர் வைட் ஃபீல்ட் பிளான் ஐபீஸ் SW10X/22mm, diopter சரிசெய்யக்கூடியது | ○ | ○ | ||
| எக்ஸ்ட்ரா வைட் ஃபீல்ட் பிளான் ஐபீஸ் EW12.5X/17.5mm, diopter அனுசரிப்பு | ○ | ○ | ||
| பரந்த புலத் திட்ட கண் பார்வை WF15X/16mm, டையோப்டர் அனுசரிப்பு | ○ | ○ | ||
| வைட் ஃபீல்ட் பிளான் ஐபீஸ் WF20X/12mm, diopter அனுசரிப்பு | ○ | ○ | ||
| குறிக்கோள் | NIS45 இன்ஃபினைட் LWD திட்டம் அரை-APO குறிக்கோள் (BF & DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
| NIS45 இன்ஃபினைட் LWD திட்டம் APO குறிக்கோள் (BF & DF), M26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
| NIS60 இன்ஃபினைட் LWD திட்டம் அரை-ஏபிஓ குறிக்கோள் (BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
| NIS60 இன்ஃபினைட் LWD திட்டம் APO குறிக்கோள் (BF), M25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
| மூக்குத்தி | பின்தங்கிய செக்ஸ்டுப்பிள் மூக்குக் கண்ணாடி (DIC ஸ்லாட்டுடன்) | ● | ● | |
| மின்தேக்கி | LWD மின்தேக்கி NA0.65 | ○ | ● | |
| கடத்தப்பட்ட வெளிச்சம் | ஆப்டிகல் ஃபைபர் லைட் வழிகாட்டியுடன் 40W LED மின்சாரம், செறிவு அனுசரிப்பு | ○ | ● | |
| பிரதிபலித்த வெளிச்சம் | பிரதிபலித்த ஒளி 24V/100W ஆலசன் விளக்கு, கோஹ்லர் வெளிச்சம், 6 நிலை கோபுரத்துடன் | ● | ● | |
| 100W ஆலசன் விளக்கு வீடு | ● | ● | ||
| 5W LED விளக்கு, கோஹ்லர் வெளிச்சம், 6 நிலை கோபுரத்துடன் பிரதிபலித்த ஒளி | ○ | ○ | ||
| BF1 பிரகாசமான புல தொகுதி | ● | ● | ||
| BF2 பிரகாசமான புல தொகுதி | ● | ● | ||
| DF இருண்ட புல தொகுதி | ● | ● | ||
| உள்ளமைக்கப்பட்ட ND6, ND25 வடிகட்டி மற்றும் வண்ண திருத்தம் வடிகட்டி | ○ | ○ | ||
| ECO செயல்பாடு | ECO பொத்தானுடன் ECO செயல்பாடு | ● | ● | |
| கவனம் செலுத்துகிறது | குறைந்த நிலை கோஆக்சியல் கரடுமுரடான மற்றும் நன்றாக கவனம் செலுத்துதல், நுண்ணிய பிரிவு 1μm, நகரும் வரம்பு 35 மிமீ | ● | ● | |
| மேடை | கிளட்ச்சிங் கைப்பிடியுடன் 3 அடுக்குகள் இயந்திர நிலை, அளவு 14”x12” (356mmx305mm);நகரும் வரம்பு 356mmX305mm;கடத்தப்பட்ட ஒளிக்கான லைட்டிங் பகுதி: 356x284 மிமீ. | ● | ● | |
| வேஃபர் ஹோல்டர்: 12” செதில்களைப் பிடிக்கப் பயன்படுத்தலாம் | ● | ● | ||
| DIC கிட் | பிரதிபலித்த வெளிச்சத்திற்கான DIC கிட் (10X, 20X, 50X, 100X நோக்கங்களுக்காகப் பயன்படுத்தலாம்) | ○ | ○ | |
| போலரைசிங் கிட் | பிரதிபலித்த வெளிச்சத்திற்கான போலரைசர் | ○ | ○ | |
| பிரதிபலித்த வெளிச்சத்திற்கான அனலைசர், 0-360° சுழற்றக்கூடியது | ○ | ○ | ||
| கடத்தப்பட்ட வெளிச்சத்திற்கான போலரைசர் | ○ | ○ | ||
| கடத்தப்பட்ட வெளிச்சத்திற்கான பகுப்பாய்வி | ○ | ○ | ||
| மற்ற பாகங்கள் | 0.5X C-மவுண்ட் அடாப்டர் | ○ | ○ | |
| 1X C-மவுண்ட் அடாப்டர் | ○ | ○ | ||
| தூசி கவர் | ● | ● | ||
| பவர் கார்ட் | ● | ● | ||
| அளவுத்திருத்த ஸ்லைடு 0.01 மிமீ | ○ | ○ | ||
| மாதிரி அழுத்தி | ○ | ○ | ||
குறிப்பு: ● நிலையான ஆடை, ○ விருப்பத்திற்குரியது
மாதிரி படம்
பரிமாணம்
அலகு: மிமீ
கணினி வரைபடம்
சான்றிதழ்
தளவாடங்கள்
